移相射频电源:

移相射频电源由分离式的可移相信号发生器和某一频率/功率的射频电源组成。

应用对象:

在太阳能生产设备或大规模PECVD下,需要多台射频电源同时工作于同一腔体,此时就需要控制好各个射频电源输出信号的相位,提高等离子体工作的一致性和稳定性。为此开发了可移相信号发生器,配合RSG系列射频电源,通过面板旋钮可以调节多路输出信号之间的相位差值,连续可调。

主要技术参数指标:

可移相信号发生器

输出通道数 2,4,6,8路可选配
信号输出幅度 MAX 5V pk-pk
可选频率 1.2 M~40.68MHz
谐波含量 <-35dB
移相角度 0-180°连续可调
输出接头 BNC Female
冷却方式 自然冷却
输入电源 220VAC
尺寸 290*50*242 mm (宽.高.深)
重量 2 kg


产品型号系列

产品命名规则:  RSGYX-x
x 为信号输出通道数。例如: RSGYX-2 表示双通道移相信号源。

典型应用:

* RSG射频电源功率、频率可选,详细参数见“一、单频射频电源系列”。
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