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产品特点:

●频率范围:2~60MHz内任意固定频率点
●自动/手动 双模式可自由切换
●控制盒与匹配工作元分离,利于匹配工作元与工作负载更靠近,而得到最大工作性能
●可预设匹配起始点及复位功能,利于更加精准、快速的达到最佳匹配状态
●匹配电感预设多触头,可使客户自行匹配范围调整

自动匹配器产品型号系列:

产品系列 射频功率 射频输入 射频输出 外型尺寸
(宽*高*深)mm
冷却方式 重量
Kg
PSG-ⅠA 500W L16 L29 280*130*380 风冷 9
PSG-ⅡA 1000W L16 L29/铜排 286*135*395 风冷 9.5
PSG-ⅢA 2000W L16 L29/铜排 324*155*430 风冷/水冷 11
PSG-ⅣA 3500W L29 铜排 324*155*430 水冷 12
PSG-ⅤA 6000W L29 铜排 380*177*427 水冷 12
PSG-ⅥA 15KW 1-5/8
法兰
铜排 380*177*427 水冷 14
PSG-ⅦA 25KW 1-5/8
法兰
铜排 与负载连体设计 水冷 -


主要技术参数指标:

射频输入频率 2MHZ/13.56MHZ/27.12MHZ/40.68MHZ
最大射频传输功率 50W-25KW
射频反射功率(自动匹配良好时) 额定功率Pf≤500W时,Pr≤2W
额定功率Pf≤3.5KW时,  Pr≤5W
额定功率Pf≤12.5KW时, Pr≤10W
额定功率Pf≤25KW时,   Pr≤20W
可匹配阻抗范围 (2~100)Ω ± j(0~250)Ω
自动匹配时间 0.5~3秒
自动/手动调节功能 两种工作状态可自由转换
高频可调电容器 真空可调电容器/空气可调电容器
可调电容器容量显示 1%~100%
可调电感 1~10圈触头可调
工作环境 0~45℃,湿度<85%(不结露)
AC电源 110V~220V±15%,50/60HZ


典型产品:

1.PSG-IA
采用双空气电容小巧轻便
LED显示实时电容值;独立模块,标准接口,可配用范围广

2.PSG-ⅡA
采用空气电容和真空电容优化配置
耐压值高;LED显示实时电容值;独立模块,标准接口,可配用范围广

3.PSG-ⅢA型自动匹配器
采用双真空电容,耐压值高
LED显示实时电容值
独立模块,标准接口,可配用选型范围广

4., PSG-ⅣA型自动匹配器
采用双真空电容,耐压值高
LED显示实时电容值
具有手动调节匹配及自动调节匹配双重功能
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