应用对象:

作为射频驱动等离子体系统的电源,可应用于半导体工业,包括:刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVC等系统、等离子清洗、PECVD、板条射频激光源、医疗美容,也可以作为工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源。

产品特点:

●固态设计使得电源具有长寿命、维护成本低等优点
●“AB”类放大器设计保证了电源工作的稳定性
●在高驻波比工况下,可以保证产品一致性的控制电路
●宽频带、低Q值线缆设计抑制了自激振荡和波动

主要技术参数指标:

●频率稳定度:≤± 0.005%
●功率稳定度:≤±0.5%
●承受驻波比:VSWR ≤2.0
●谐波输出:二次谐波低于-40dBc,三次及更高次谐波低于-50dBc
●噪音输出:低于-40dBc
●环境温度: 0~45 ℃ (不结露)
●相对湿度: <85%

射频电源保护:

●过热保护、驻波保护、过压保护、过流保护

产品功率/型号/频率对应表:

输 出功 率 产品
型号
可选频率 控制模式 标准输出连接 冷却方式 主从模式 脉冲功能
50 RSG50 1.2M~150MHz任意固定频率 模拟量0~5VDC N 风冷    
100 RSG100 1.2M-150MHz任意固定频率 模拟量0~10VDC N 风冷 可选  
200 RSG200 1.2M-150MHz任意固定频率 模拟量0~10VDC N 风冷 可选  
300 RSG300 1.2M-150MHz任意固定频率 模拟量0~10VDC N 风冷 可选 可选
500 RSG500 1.2M-150MHz任意固定频率 模拟量/RS232/RS485 N 风冷 可选 可选
1000 RSG1000 1.2M-100MHz任意固定频率 模拟量/RS232/RS485 N 风冷 可选 可选
2000 RSG2000 2M,6.78M,13.56M,27.12M,40.6M8,60M.81.36M 模拟量/RS232/RS485 N 水冷 可选 可选
3500 RSG3500 2M,13.56M,60M.81.36M 模拟量/RS232/RS485 L29 水冷 可选 可选
6000 RSG6000 2M,13.56M,60M,81.36M 模拟量/RS232/RS485 L29 水冷 可选 可选
10kw RSG10000 13.56M 模拟量/RS232/RS485 L29 水冷 可选 可选
15kw RSG15000 13.56M 模拟量/RS232/RS485 1-5/8法兰 水冷 可选 可选
20kw RSG20000 13.56M 模拟量/RS232/RS485 1-5/8法兰 水冷   可选
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